چکیده

فیلم‌های نازک الماس بلورین اولترانانو (UNCD) با ضخامت متوسط ، روی زیرلایه‌های سیلیکون پولیش‌شده آینه‌ای نوع n (100) با استفاده از سیستم لایه‌نشانی شیمیایی بخار ارتقا یافته با پلاسمای مایکروویو در جوهای پلاسمایی ترکیبات گازی مختلف () در 1200 وات () و در فشار 120 تور با دمای پلاسمای  رشد یافتند. طیف‌سنجی رامان برای مطالعه میکروساختاری به کار رفت و دندانه‌گذاری نانویی برای مطالعه مدول‌های سختی/یانگ مورد استفاده قرار گرفت در حالی که ساختار لبه نزدیک جذب پرتوی ایکس، طیف‌سنجی‌های فوتوالکترون پرتوی ایکس و انتشار نوری فرابنفش برای ساختار الکترونی فیلم‌های نازک UNCD به کار رفتند. سختی فیلم‌ها ، مدول یانگ ، و گسیل میدان الکترون القایی، یعنی برقراری میدان الکتریکی به دست آمد. همه نتایج نشان می‌دهند که UNCD می‌تواند برای ابزارهای مختلف صنعتی نیم‌رسانا/اپتوالکترونیک و به عنوان مواد منعطف برای فناوری پوشش‌دهی فیلم نازک مفید باشد.

1-مقدمه

فیلم‌های نازک الماس بلورین اولترانانو (UNCD) دارای دانه‌های الماس فوق کوچک بین 5-10 نانومتر و مشخصات سطح هموار با یک شکل ویژه از فیلم‌های الماس است....