چکیده
فیلم‌های نازک الماس بلورین اولترانانو (UNCD) با ضخامت متوسط 
، روی زیرلایه‌های سیلیکون پولیش‌شده آینه‌ای نوع n (100) با استفاده از سیستم لایه‌نشانی شیمیایی بخار ارتقا یافته با پلاسمای مایکروویو در جوهای پلاسمایی ترکیبات گازی مختلف (
) در 1200 وات (
) و در فشار 120 تور با دمای پلاسمای 
رشد یافتند. طیف‌سنجی رامان برای مطالعه میکروساختاری به کار رفت و دندانه‌گذاری نانویی برای مطالعه مدول‌های سختی/یانگ مورد استفاده قرار گرفت در حالی که ساختار لبه نزدیک جذب پرتوی ایکس، طیف‌سنجی‌های فوتوالکترون پرتوی ایکس و انتشار نوری فرابنفش برای ساختار الکترونی فیلم‌های نازک UNCD به کار رفتند. سختی فیلم‌ها 
، مدول یانگ 
، و گسیل میدان الکترون القایی، یعنی برقراری میدان الکتریکی 
به دست آمد. همه نتایج نشان می‌دهند که UNCD می‌تواند برای ابزارهای مختلف صنعتی نیم‌رسانا/اپتوالکترونیک و به عنوان مواد منعطف برای فناوری پوشش‌دهی فیلم نازک مفید باشد.
1-مقدمه
فیلم‌های نازک الماس بلورین اولترانانو (UNCD) دارای دانه‌های الماس فوق کوچک بین 5-10 نانومتر و مشخصات سطح هموار با یک شکل ویژه از فیلم‌های الماس است....